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半導(dǎo)體制程(支撐)材料

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六氟化鉬 CAS#: 7783-77-9

更新時(shí)間:2020-07-04 點(diǎn)擊數(shù):2962

六氟化鉬 CAS#: 7783-77-9

低溫下為白色結(jié)晶固體,吸濕性大,在潮濕空氣中產(chǎn)生藍(lán)煙,是一種強(qiáng)氧化劑。在空氣中允許極限濃度(TLV)為5mg/m3。產(chǎn)品用鋼瓶充裝,按有毒氣體貯運(yùn)。

產(chǎn)品指標(biāo):

產(chǎn)品用途:

六氟化鉬的主要應(yīng)用領(lǐng)域是在微電子工業(yè)中用化學(xué)氣相沉積硅化鉬或鉬,以制作低電阻、高熔點(diǎn)的互連線,也可用作強(qiáng)氟化劑、成膜材料及離子摻雜劑,還可用于鉬同位素分離。 

訂貨信息:

包裝、貯存:

六氟化鉬充裝在鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶中,鋼瓶容積分別為8L和47L,具體包裝規(guī)格可根據(jù)用戶(hù)需求定制更改。六氟化鉬儲(chǔ)存干陰涼、干燥、通風(fēng)良好的庫(kù)房中,遠(yuǎn)離火種、熱源。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。



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